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白光干涉仪


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产品名称: 白光干涉仪
产品型号: FRT WLI
产品展商: 德国FRT公司
简单介绍
白光干涉仪采用白光干涉测量传感器,其垂直分辨率可达0.1nm详细技术参数:测量原理:白光干涉测量;测量物镜10X 20X 50X垂直测量范围:100um(400um可选)垂直分辨率 0.1nm;X,Y测量范围:1.6X1.2mm 0.8X0.6mm 0.32X0.24mm;工作距离:3.6mm 3.6mm 1.7mm侧向分辨率2.5um 1.25um 0.5um 白光干涉仪

白光干涉仪

的详细介绍

 白光干涉仪

白光干涉仪

详细技术参数:

测量原理                                                   白光干涉测量

测量物镜                       10X                        20X                        50X

垂直测量范围:                                 100um(400um可选)

垂直分辨率                                                 0.1nm

X,Y测量范围:         1.6X1.2mm          0.8X0.6mm           0.32X0.24mm

工作距离:                  3.6mm                   3.6mm                   1.7mm

侧向分辨率                    2.5um                 1.25um                     0.5um
白光干涉仪

 

 

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